マイクロアクチュエータとは機械的な動きを発生できる小型のデバイスです。

運動を発生させる機構によっていくつかの種類に分類されます。

以下でその一部を紹介します。

①静電方式

対抗する電極の静電気力を利用して力学的動作を発生させる方式です。

半導体プロセス(MEMS技術)で作成可能であり、回路含めて集積化できるメリットがあります。

②電磁方式

電磁力を利用して力学的動作を発生させる方式です。小型のコイルや永久磁石を用いて電磁力を発生させます

https://www.facebook.com/watch/?v=244306022920183

https://www.facebook.com/watch/?v=470249883494282

https://www.facebook.com/watch/?v=240290759860159

③人工筋肉方式

特殊な弾性ポリマーを電極でサンドイッチする構造を作り、電極間に電圧を印加するとポリマーが変形することを用いた手法です。

この方式では変形量が大きいというメリットがあります。

https://www.facebook.com/watch/?v=332930027456355

出典：東京工業大学 進士研究室
http://www.precisionmechatronics.mech.e.titech.ac.jp/